제목	[2016-08-22] 디스플레이 `대기압 플라즈마` 식각·증착시대 열린다…에피피 기술 고도화
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E-mail	ijbaek@tmtech.co.kr	작성일	2016-08-23 오전 9:09:54
디스플레이·반도체 생산에 필수적인 진공 장비 대신 일반 대기압에서 공정을 처리할 수 있는 기술 시대가 열릴 전망이다. 진공 플라즈마 기술은 해외 의존도가 높지만 대기압 플라즈마 기술은 아직 이렇다 할 선점 기업이 없다. 세계 시장에서 국내 기업 약진이 기대된다. 대기압 플라즈마 장비 기업 에이피피(대표 강방권)는 진공 상태가 아닌 대기압에서 디스플레이 식각·증착 공정을 할 수 있는 기술을 고도화하고 있다. 이미 지난 2014년 국내 패널 제조사에 디스플레이 공정용 식각 장비를 공급했다. 올해 이를 고도화한 기술과 장비를 개발해 시장 확산을 노린다. 진공 기술은 디스플레이·반도체 식각·증착 단계에서 사용하는 핵심 기술이다. 고진공 상태에서 플라즈마를 이용해 다양한 핵심 공정을 처리한다. 진공 기술은 난도가 높아 미국, 독일, 유럽, 일본 등 해외의 관련 기술과 부품에 의존한다.에이피피가 개발한 대기압 플라즈마 기술은 별도 진공 처리 없이 대기압 상태에서 플라즈마를 발생시켜 공정을 처리할 수 있다. 상온에서 플라즈마를 발생시키므로 별도 진공 장비가 필요없다. 생산라인 공간과 장비 구매비용을 절감할 수 있다. 전체 디스플레이 생산 처리 공정 단계가 줄어 생산에 드는 비용과 시간도 줄일 수 있다. 문제는 수율이다. 유기발광다이오드(OLED)는 액정표시장치(LCD)보다 트랜지스터 수가 많아 파티클과 정전기 발생을 더 엄격히 제어해야 한다. 에이피피는 지난 2014년 국내 디스플레이 제조사 OLED 양산라인에 대기압 플라즈마를 이용한 무기막 식각 솔루션을 공급했다. 당시 공정 스텝 수를 줄이는 것은 물론 전체 수율이 높아지는 등 긍정적 결과를 도출했다. 원문보기 - http://www.etnews.com/20160822000273